壓力傳感器原理及種類介紹
壓力傳感器的種類繁多,其性能也有較大的差異,在實際應(yīng)用中,應(yīng)根據(jù)具體的使用場合、條件和要求,選擇較為適用的傳感器,做到經(jīng)濟、合理。
壓力傳感器的原理:
傳感器是將各種非電量(包括物理量、化學(xué)量、生物量等)按一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成便于處理和傳輸?shù)牧硪环N物理量 (一般為電量)的裝置。傳感器一般由敏感元件、轉(zhuǎn)換元件和測量電路三部分組成,有時還需外加輔助電源。
壓力傳感器所用的元件材料是具有壓阻效應(yīng)的單晶硅、擴散摻雜硅和多晶硅。根據(jù)晶體不受定向應(yīng)力時,電導(dǎo)率是同性的,只有受定向應(yīng)力時才表現(xiàn)出各向異性,由于應(yīng)力能引起能帶的變化,能谷能量移動,導(dǎo)致電阻率的變化,于是就有電阻的變化,從而產(chǎn)生壓阻效應(yīng)。
壓力傳感器的應(yīng)用分類:
壓力傳感器按用途分類主要是壓力監(jiān)視、壓力測量和壓力控制及轉(zhuǎn)換成其他量的測量。
按供電方式分為壓阻型和壓電型傳感器,前者是被動供電的,需要有外電源。后者是傳感器自身產(chǎn)生電荷,不需要外加電源,根據(jù)不同領(lǐng)域?qū)毫y量的精度不同分為低精度和高精度的壓力傳感器。
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